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OAI光刻机


仪器名称: OAI光刻机

仪器类型: 光刻&键合设备

应用领域: 单面对准曝光。

技术指标:

掩模版适用尺寸:五英寸;基片尺寸:4英寸及以下不规则形状基片;汞灯功率:350W;分辨率:2μm。

仪器品牌: OAI

仪器型号: OAI MOde1 204

仪器厂家: 美国

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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